Ученые КазНУ представили технологию синтеза алмазоподобных углеродных пленок

Аморфные углеродные пленки, синтезированные методом PVD в атмосфере аргона и комбинированным методом (PECVD+PVD) в атмосфере смеси газов аргона, метана и водорода, разработали ученые Национальной нанотехнологической лаборатории открытого типа КазНУ им. аль-Фараби.

Научный руководитель - к.ф.-м.н. А.П. Рягузов.

Впервые удалось отработать технологические режимы синтеза алмазоподобных углеродных пленок с различной степенью гибридизации связей в широком интервале температуры подложки, давления газа и мощностипостоянного и высокочастотного электрического поля.

Полученные результаты будут использованы для создания различных специальных покрытий на основе алмазоподобных углеродных пленок. Помимо этого, знание структуры и свойств углеродных пленок позволит более эффективно проводить модифицирование нанокластерами некарбидообразующих элементов и создавать приборы и устройства с заданными свойствами. На основе наноструктурированных нанокластерами металлов углеродных материалов возможно создание новых устройств фотоники, электроники, а также новых эффективных устройств записи и хранения информации.

НЦГНТЭ